특징
● MEMS(Micro Electro Mechanical System) 유량 센서 칩, 바이패스 션트, 전자기 비례 밸브를 사용합니다.
● 전자기 비례 밸브는 긴 수명과 높은 감도가 특징입니다.
● 센서의 영점 안정성.
● 측정 범위 내에서 정확도가 높고 반복성이 우수합니다.
● 빠른 응답 시간.
● 표준 기계식 인터페이스로 설치가 용이합니다.
● RS485 통신 출력, 표준 MODBUS RTU 프로토콜.
● LCD는 순간 및 누적 유량을 표시하여 명확하고 직관적인 판독 경험을 제공합니다. 유량은 버튼 입력을 통해 제어할 수 있으며, 제어된 실시간 유량은 LCD 화면에 직접 표시됩니다.
● 표준 구성에는 4-20mA 입력/출력 제어가 포함됩니다.
● 사용자 정의 가능한 0~5V 또는 0~10V 입력/출력 제어
제품소개
AI-FC 비례 밸브 제어 열 가스 질량 유량계는 고급 미세 전자 기계 시스템(MEMS) 유량 감지 칩을 사용하여 설계 및 개발된 비례 밸브 유량 제어 기능이 있는 열 가스 유량 센서입니다. 디지털 신호 처리 기술과 유량 제어 알고리즘을 결합하여 다양한 가스의 유량을 정밀하게 제어하고 지능적으로 처리합니다.
비례 밸브 제어식 유량계는 높은 정확도와 강력한 간섭 방지 기능이 특징입니다. 분배기의 바이패스 유체는 층류 상태로 되어 있어 측정 및 제어가 보다 안정적이고 정확하여 다양한 소량 흐름의 청정 가스의 측정 및 공정 제어에 적합합니다.
기술적인 매개변수
| 작동 전원 공급 장치 | DC24V/12W |
| 정확도(%) | 제어 정확도: ±1.0% SP, 측정 정확도: 1% fs |
| 제어 및 측정 범위 비율 | 1:100 |
| 밸브 종류 | 상시 닫힘형 |
| 작동 온도 | -10~55℃ |
| 습도 | <95%RH(서리 없음, 얼음 없음, 결로 없음) |
| 흐름 사양 | (0~10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM (0~1, 2, 3, 5, 10, 20, 30)SLM (0~50, 100) SLM (0-200, 300) SLM |
| 작동 압력 범위 | 측정: 0-1.5MPa 제어: 10SCCM-30SPLM 압력: 0.1-1.0MPa 100 SPLM 압력: 0.1-0.65MPa 300SPLM 압력: 0.1-0.5MPa |
| 일반적인 제어 응답 시간 | 1.5초 이내(T90) |
| 응답 시간 측정 | <50ms |
| 출력방식 | 4-20mA(1-5V), 0-5V 및 0-10V를 사용자 정의할 수 있습니다. |
| 의사소통 방법 | RS485(Modbus RS485 프로토콜) |
| 제어방식 | 버튼 작동, Modbus, 4-20mA(1-5V), 0-5V 및 0-10V를 사용자 정의할 수 있습니다. |
| 기계적 연결 | G1/4, PT1/2 내부 스레드; 다른 스레드는 사용자 정의할 수 있습니다. |
| 보호 수준 | IP40 |
25 ℃, 101.32 kPa 및 건조한 공기에서 측정되었습니다.
기타 기능
| 선택 가능한 표준 온도 조건 | 0°, 20°, 25°, 사용자가 조정 가능, 기본값은 25° |
| 선택 가능한 가스 종류 | 공기, N2, O2, CH4, Ar, CO2, He, H2, C3H8 |
| 정상 작동 압력 차이 | 0.1-0.8 MPa, 유량 <= 30 SLM 0.1MPA-0.6MPA 30SLM < 유량 사양 <= 100SLM 0.1MPa -0.4MPa 100SLM < 유량사양 < 300SLM |
| 색다른 작동 압력 차이 | 맞춤형 상담 가능 |
